Lamtech平面度測量儀廣泛用于測量導(dǎo)軌的直線性、精密平板的平面度、基面之間的垂直度和平行度、精密軸系的晃動(dòng)誤差等；同時(shí)還可以來測量各種棱鏡的角度差和平鏡的平行差以及測量檢驗(yàn)各種棱鏡、平鏡與裝配基準(zhǔn)面之間的角度誤差。該儀器主要用于小角度的精密測量，如多面棱體的檢定。也可測量高精度導(dǎo)軌等精密零件的直線性、平行性、垂直性及相對位置。
Lamtech平面度測量儀的用法是平晶干涉法，用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值，但主要于測量光潔的小平面的測量，如千分頭測量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。激光干涉儀現(xiàn)因其體積小，重量輕、無需外接電源的特點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)，光學(xué)檢測機(jī)構(gòu)以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測的場合。在機(jī)械行業(yè)和儀表制造中,用于測量相對于水平位置的傾斜角、機(jī)床類設(shè)備導(dǎo)軌的平面度和直線度、設(shè)備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準(zhǔn)器的固定方式又可分為：可調(diào)式水平儀和不可調(diào)式水平儀。
Lamtech平面度測量儀打表測量法是將被測零件和測微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對角線法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評定基準(zhǔn)面，實(shí)測時(shí)先將被測實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對角線法實(shí)測時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計(jì)進(jìn)行測量，測微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測得的最大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。